• 段宗建: 15921979681
  • 段连中: 13402156430
  • QQ:
  • 地址: 上海浦东新区海滨路森塘路祝桥龙大花卉市场B区115-118号
  • 苗圃基地: 上海浦东新区南汇镇王桥村363号
新闻动态
当前位置:首页 > 新闻动态

袋式过滤器在这些行业是怎么应用的呢?

发布日期:2017-11-14

过程简述

半导体集成电路是指在半导体基板上,利用氧化、蚀刻、扩散等方法,将众多电子电路组成各式二极管、晶体管等电子组件作在一微小面积上,以完成某一特定逻辑功能(例如:AND、OR、NAND等), 进而达成预先设定好的电路功能。半导体的生产工艺要求高,涵盖光刻、精密切割和研磨等各种复杂工艺,生产半导体的过程会产生大量的废水, 半导体废水污染物种类多,成分复杂,通常包括多种重金属废水,有机废水以及硅和氟废水;同时半导体PCW系统的制程冷却水须过滤处理以回用(见水处理应用)。

清洗工艺及废水来源

问题描述

1.分产生废水量大;

2.废水成复杂,含有各种过渡性质的金属如硅、锗等,同时含有较高含量的氟;

3.废水中含有难以处理的较高浓度的 COD。 

工艺

清洁源

容器

清洁效果

剥离光刻胶

氧等离子体

平板反应器

刻蚀胶

去聚合物

硫酸:=6:1

溶液槽

除去有机物

去自然氧化层

氟化氢:<1:50

溶液槽

产生无氧表面

旋转甩干

氮气

甩干机

无任残留物

RCA1#(碱性)

氢氧化铵:过氧化氢:=1:1:1.5

溶液槽

除去表面颗粒

RCA2#(碱性)

氯化氢:过氧化氢:=115

溶液槽

除去重金属粒子

DI清洗

去离子水

溶液槽

除去清洗溶剂


产品应用 

1.陶瓷膜过滤系统;

2.占地面积小,集中管理,智能控制;

3.产水质量高,同时去除废水中的磷酸盐和COD;

4.耐化学酸碱性佳,寿命长,维护简便;

5.简化传统工艺,无需添加药剂。

 推荐奕卿科技产品:

折叠滤芯过滤器、精密过滤器、袋式过滤器等


  • QQ咨询
  • 电话咨询
  • 15921979681
  • 13402156430
None